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2023年苏锡常首台(套)重大装备拟认定名单出炉昆山高新区

2023-12-18

近日亮点

2023年苏锡常首台(套)重大装备拟认定名单出炉
共有70个装备入选
苏锡常首台(套)重大装备是指苏州、无锡、常州三市企业通过研发创新,在品种、规格或技术参数等方面有重大突破,具有自主知识产权的国际或国内首台(套)高端装备和关键部件,整机性能或核心技术指标达到国内领先或国际同类装备先进水平。

 

苏州30个装备上榜(苏州位列)

苏州市30个,无锡市20个,常州市20个。苏州、无锡、常州三市将在认定的苏锡常首台(套)重大装备中择优推荐申报江苏省首台(套)重大装备。

 


苏州具体名单如下


 


昆山高新区

苏州智程半导体科技股份有限公司

全自动单式清洗机(ZCWB-A3)

成功入选



苏州智程半导体科技股份有限公司是一家专业研发、生产、销售半导体清洗设备的国家专精特新“小巨人”企业,产品几乎覆盖半导体行业所有湿制程工艺,主导产品全自动化合物半平体槽式清洗机的国内市场占有率排名。公司先后承担江苏省重点研发计划、苏州市产业前瞻与共性技术等多个重点项目,并建有江苏省企业工程技术研究中心、苏州市企业技术中心、苏州市工业设计中心等研发平台。公司曾荣获江苏省瞪羚企业、苏州市服务型制造示范企业、知识产权成长型企业、知识产权标杆企业等荣誉称号。


 


此次上榜设备全自动单式清洗机(ZCWB-A3)针对大尺寸薄片晶圆全自动清洗,处理能力为8英寸晶圆小厚度150μm、12英寸晶圆小厚度200μm,清洗效率高。公司自主开发的翘曲晶圆吸附技术、精准定位技术、伯努利非接触式抓取技术工艺先进、产能大,填补了国内薄片晶圆8英寸和12英寸全自动清洗装备的空白,处于国内领先地位。


 


截至目前,全区拥有

省首台(套)重大装备21家

占全市比重40%

苏锡常首台(套)重大装备4家

占全市比重45%


智程半导体在各项设备评选中,多次入选,见证了智程的实力。智程在研发的道路上任重且长,永不停歇,将加大创新研发投入和装备研发,打造具有核心知识产权的高端装备工程。



苏州智程半导体科技股份有限公司
SUZHOU ZHICHENG SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY CO., LTD. 
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