专注半导体湿制程设备产业投资与发展布局
全面实现半导体湿制程设备的国产替代
苏州30个装备上榜（苏州位列）
苏州具体名单如下
昆山高新区
苏州智程半导体科技股份有限公司
全自动单式清洗机（ZCWB-A3）
成功入选
苏州智程半导体科技股份有限公司是一家专业研发、生产、销售半导体清洗设备的国家专精特新“小巨人”企业，产品几乎覆盖半导体行业所有湿制程工艺，主导产品全自动化合物半平体槽式清洗机的国内市场占有率排名。公司先后承担江苏省重点研发计划、苏州市产业前瞻与共性技术等多个重点项目，并建有江苏省企业工程技术研究中心、苏州市企业技术中心、苏州市工业设计中心等研发平台。公司曾荣获江苏省瞪羚企业、苏州市服务型制造示范企业、知识产权成长型企业、知识产权标杆企业等荣誉称号。
此次上榜设备全自动单式清洗机（ZCWB-A3）针对大尺寸薄片晶圆全自动清洗，处理能力为8英寸晶圆小厚度150μm、12英寸晶圆小厚度200μm，清洗效率高。公司自主开发的翘曲晶圆吸附技术、精准定位技术、伯努利非接触式抓取技术工艺先进、产能大，填补了国内薄片晶圆8英寸和12英寸全自动清洗装备的空白，处于国内领先地位。
截至目前，全区拥有
省首台（套）重大装备21家
占全市比重40%
苏锡常首台（套）重大装备4家
占全市比重45%
智程半导体在各项设备评选中，多次入选，见证了智程的实力。智程在研发的道路上任重且长，永不停歇，将加大创新研发投入和装备研发，打造具有核心知识产权的高端装备工程。
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