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3月14日， “新质领航 π生科创”昆山市科技创新大会暨祖冲之攻关计划发布会举行。会上，我市揭晓了2024年度祖冲之攻关计划项目。

金π项目

项目名称：基于微纳气泡强化的集成电路14nm先进制程单片清洗设备研发及产业化

承担单位：苏州智程半导体科技股份有限公司

合作单位：东南大学

项目突破“微纳气泡强化晶圆表面清洗机制研究”、“清洗过程液流在晶圆表面全时空数值模拟平台开发”、“微纳气泡强化清洗液发生系统及精准控制系统研发”等关键技术问题，研发集成电路14nm制程清洗设备，达到国际同类产品技术水平，为集成电路先进制程国产化补上重要一环。

公司简介

苏州智程半导体科技股份有限公司（简称：苏州智程）创立于2009年，作为专精特新重点"小巨人"企业及江苏省高新技术企业，始终深耕半导体湿制程装备领域发展。公司先后获评江苏省企业工程技术研究中心、江苏省湿制程设备研究中心双重创新载体资质，同时担任中国电子专用设备工业协会理事单位，并获得中国半导体行业协会及江苏省半导体行业协会双重会员认证，彰显行业标杆地位。

在技术创新维度，公司构建了以清洗、电镀、高温湿法去胶/蚀刻为核心的技术矩阵，其中其中自主开发对标国际一流大厂的水平电镀设备荣获江苏省首台套重大装备称号；公司拥有覆盖全产业链的自主知识产权体系，迄今累计授权发明专利133项、实用新型26项、外观设计7项，辅以46项软件著作权构筑了立体化技术壁垒，形成难以逾越的行业竞争优势。

聚焦产品矩阵，公司构建半导体清洗设备、电镀/化镀设备、高纯化学品输送系统三大战略产品线。其中单片清洗设备累计出货量突破450腔，电镀设备交付量逾280腔，产品体系全面覆盖半导体前道制程、大硅片制造、先进封装、特色工艺及化合物半导体等关键领域。凭借持续的创新驱动与迭代升级，苏州智程已发展成为国内半导体湿法设备领域具核心竞争力的整体解决方案供应商，为半导体产业国产化进程注入强劲动能。

苏州智程半导体科技股份有限公司负责人表示：公司在先进制程清洗设备国产化过程中，也面临一系列技术难题，在市科技局的牵线搭桥下，以“企业出题、高校解题、政府助题”的创新模式，推动东南大学前沿技术成果与智程产业化能力的深度对接，仅用一年时间便完成了相关技术转化，成功研制出国产首套对标国际龙头企业的先进制程清洗设备，未来三年预计将为公司新增销售收入3亿元，实现“从实验室到生产线”的高效跨越。